AMAT Producer Split CVD

基本信息设备描述

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AMAT Producer Split CVD

商家设备

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CVD

类型

2003年

年份

晶片尺寸

基本信息

型号：2 Twin
类型：CVD
年份：2003年
晶片尺寸：8
设备数量：1
销售状态：已出售

设备描述

Producer Split, HT-SiN 2Twin(RPC_FI20620-1, HF_RFG2K-2V), Gas config: Model_Unit8161, Ar 5L, NH3 3L, SiH4 1L, SiH4 500sccm, N2 15L, NF3 10L, He 5L, He10L, N2O 5L

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